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電子凈化車間噪音控制有哪些行業(yè)標準

2025-04-08
共有1580家企業(yè)看過

  電子凈化車間(尤其是半導體、PCB等精密制造領(lǐng)域)的噪音控制需遵循嚴格的行業(yè)標準,以確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定、設(shè)備正常運行及人員健康。以下是關(guān)鍵的噪音控制行業(yè)標準及實施要點,具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

  一、國際標準

  ISO 14644系列

  適用范圍:潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境,包含對噪音水平的限制要求。

  關(guān)鍵要求:

  潔凈室噪音通常需控制在 65dB(A)以下(空態(tài)測試)。

  對于高精密區(qū)域(如光刻區(qū)),推薦 ≤60dB(A)。

  SEMI標準

  SEMI S2/S8:針對半導體設(shè)備的環(huán)境、健康與安全(EHS)要求,包含設(shè)備噪音限值。

  SEMI F21:涉及分子污染(AMC)控制,間接影響噪音管理策略。

  二、國家標準

  中國《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50073)

  噪音限值:

  一般潔凈區(qū) ≤65dB(A)。

  特殊工藝區(qū)(如微電子) ≤60dB(A)。

  隔聲要求:圍護結(jié)構(gòu)隔聲量 ≥30dB。

  《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計規(guī)范》(GB/T 50087)

  關(guān)鍵指標:

  長期暴露區(qū)域(8小時工作制) ≤85dB(A),但潔凈車間通常要求更嚴格(≤65dB(A))。

  高頻設(shè)備需進行頻譜分析,避免共振噪音。

  《聲環(huán)境質(zhì)量標準》(GB 3096)

  適用于廠界噪音控制,通常要求 晝間≤60dB(A),夜間≤50dB(A)。


電子凈化車間


  三、行業(yè)特殊要求

  半導體潔凈車間

  設(shè)備噪音:

  空調(diào)系統(tǒng) ≤55dB(A)(FFU風機需低噪音型)。

  真空泵/空壓機 ≤70dB(A)(需加隔音罩)。

  工藝控制:避免沖擊噪音(如機械手動作需緩啟動)。

  PCB凈化車間

  關(guān)鍵區(qū)域:

  曝光區(qū) ≤60dB(A)(防微振需求)。

  電鍍線 ≤70dB(A)(允許適當放寬,但需隔音處理)。

  四、噪音控制措施

  設(shè)備選型與布局

  優(yōu)先選擇低噪音設(shè)備(如變頻風機)。

  高噪音設(shè)備(如空壓機)集中布置,并遠離敏感區(qū)。

  隔音與吸音設(shè)計

  墻體/天花板:采用巖棉夾芯彩鋼板(隔聲量≥25dB)。

  地面:防靜電環(huán)氧地坪+橡膠減震墊(降低結(jié)構(gòu)傳聲)。

  振動控制

  設(shè)備安裝隔振器(如彈簧減震支座)。

  管道采用柔性連接(減少流體噪音)。

  員工防護

  噪音>65dB(A)區(qū)域需配備耳塞/耳罩。

  定期進行聽力保護培訓。

  五、檢測與合規(guī)

  檢測方法

  使用 聲級計(符合IEC 61672標準)。

  測量點位于 人耳高度(1.5m),每100㎡至少3個測點。

  驗收標準

  空態(tài)測試 ≤65dB(A),動態(tài)測試允許 ≤70dB(A)(需工藝確認)。

  六、行業(yè)趨勢

  智能降噪:采用AI實時監(jiān)測噪音,自動調(diào)節(jié)風機轉(zhuǎn)速。

  綠色標準:新增低頻噪音(<200Hz)限值,減少健康影響。

  如需具體項目的噪音控制方案,建議參考 ISO 14644 和 GB 50073,或咨詢專業(yè)凈化工程公司。

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