
潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
電子凈化車間(尤其是半導體、PCB等精密制造領(lǐng)域)的噪音控制需遵循嚴格的行業(yè)標準,以確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定、設(shè)備正常運行及人員健康。以下是關(guān)鍵的噪音控制行業(yè)標準及實施要點,具體就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!
一、國際標準
ISO 14644系列
適用范圍:潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境,包含對噪音水平的限制要求。
關(guān)鍵要求:
潔凈室噪音通常需控制在 65dB(A)以下(空態(tài)測試)。
對于高精密區(qū)域(如光刻區(qū)),推薦 ≤60dB(A)。
SEMI標準
SEMI S2/S8:針對半導體設(shè)備的環(huán)境、健康與安全(EHS)要求,包含設(shè)備噪音限值。
SEMI F21:涉及分子污染(AMC)控制,間接影響噪音管理策略。
二、國家標準
中國《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB 50073)
噪音限值:
一般潔凈區(qū) ≤65dB(A)。
特殊工藝區(qū)(如微電子) ≤60dB(A)。
隔聲要求:圍護結(jié)構(gòu)隔聲量 ≥30dB。
《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計規(guī)范》(GB/T 50087)
關(guān)鍵指標:
長期暴露區(qū)域(8小時工作制) ≤85dB(A),但潔凈車間通常要求更嚴格(≤65dB(A))。
高頻設(shè)備需進行頻譜分析,避免共振噪音。
《聲環(huán)境質(zhì)量標準》(GB 3096)
適用于廠界噪音控制,通常要求 晝間≤60dB(A),夜間≤50dB(A)。
三、行業(yè)特殊要求
設(shè)備噪音:
空調(diào)系統(tǒng) ≤55dB(A)(FFU風機需低噪音型)。
真空泵/空壓機 ≤70dB(A)(需加隔音罩)。
工藝控制:避免沖擊噪音(如機械手動作需緩啟動)。
關(guān)鍵區(qū)域:
曝光區(qū) ≤60dB(A)(防微振需求)。
電鍍線 ≤70dB(A)(允許適當放寬,但需隔音處理)。
四、噪音控制措施
設(shè)備選型與布局
優(yōu)先選擇低噪音設(shè)備(如變頻風機)。
高噪音設(shè)備(如空壓機)集中布置,并遠離敏感區(qū)。
隔音與吸音設(shè)計
墻體/天花板:采用巖棉夾芯彩鋼板(隔聲量≥25dB)。
地面:防靜電環(huán)氧地坪+橡膠減震墊(降低結(jié)構(gòu)傳聲)。
振動控制
設(shè)備安裝隔振器(如彈簧減震支座)。
管道采用柔性連接(減少流體噪音)。
員工防護
噪音>65dB(A)區(qū)域需配備耳塞/耳罩。
定期進行聽力保護培訓。
五、檢測與合規(guī)
檢測方法
使用 聲級計(符合IEC 61672標準)。
測量點位于 人耳高度(1.5m),每100㎡至少3個測點。
驗收標準
空態(tài)測試 ≤65dB(A),動態(tài)測試允許 ≤70dB(A)(需工藝確認)。
六、行業(yè)趨勢
智能降噪:采用AI實時監(jiān)測噪音,自動調(diào)節(jié)風機轉(zhuǎn)速。
綠色標準:新增低頻噪音(<200Hz)限值,減少健康影響。
如需具體項目的噪音控制方案,建議參考 ISO 14644 和 GB 50073,或咨詢專業(yè)凈化工程公司。