
潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬(wàn)級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
百級(jí)電子潔凈車(chē)間規(guī)劃詳細(xì)方案涉及多個(gè)方面,以下是合潔科技電子凈化工程公司的一個(gè)綜合性的分享:
一、車(chē)間規(guī)劃要點(diǎn)
1、潔凈度控制
百級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)要求每立方米空氣中20.5um的顆粒物≤3,520個(gè)(對(duì)應(yīng)IS05級(jí)),需通過(guò)高效過(guò)濾器(HEPA/ULPA)和FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)來(lái)實(shí)現(xiàn)空氣過(guò)濾,確保氣流均勻分布,避免渦流或死角。
采用正壓設(shè)計(jì),防止外部污染物進(jìn)入潔凈區(qū)。
2、功能區(qū)劃分
清洗區(qū)、包裝區(qū)、物料暫存區(qū)、人員更衣區(qū)需嚴(yán)格分區(qū),避免交叉污染。
人流與物流分離:
人員流程:入口→換鞋一更衣(普通一潔凈服)一風(fēng)淋室一潔凈區(qū)。
物料流程:入口一粗清潔一傳遞窗一潔凈區(qū)一包裝一成品出口。
3、溫濕度與靜電控制
溫度控制在22+2℃℃,濕度55%+5%,需配備恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)。
防靜電措施:采用防靜電地板、工作臺(tái)、離子風(fēng)機(jī)等,減少靜電對(duì)零部件的損傷。
4.建筑與材料選擇
墻面/天花板使用彩鋼板或不銹鋼板,地面采用環(huán)氧自流平或防靜電PVC地板,確保無(wú)塵、易清潔。
門(mén)窗需密封處理,避免縫隙積塵。
二、核心設(shè)備清單
1、空氣凈化系統(tǒng)
FFU+高效過(guò)濾器:覆蓋潔凈區(qū)頂棚,確保空氣循環(huán)過(guò)濾效率>99.99%。
新風(fēng)機(jī)組+空調(diào)系統(tǒng):調(diào)節(jié)溫濕度,維持正壓環(huán)境。
2、清洗設(shè)備
高壓噴淋清洗機(jī):去除表面顆粒污染物。
超聲波清洗機(jī):用于精密零部件的深層清潔。
超純水系統(tǒng)(RO+EDI):提供清洗用水,確保無(wú)離子殘留。
3、干燥與包裝設(shè)備
真空干燥箱:避免二次污染。
防靜電包裝機(jī):使用防靜電袋或氨氣封裝,保護(hù)零部件免受靜電損傷。
4、輔助設(shè)備
傳遞窗:用于物料進(jìn)出潔凈區(qū),減少開(kāi)門(mén)污染。
風(fēng)淋室:人員進(jìn)入潔凈區(qū)前的除塵通道。
環(huán)境監(jiān)測(cè)系統(tǒng):實(shí)時(shí)檢測(cè)顆粒物、溫濕度、壓差等參數(shù)。
三、施工與驗(yàn)收流程
1、施工階段
基礎(chǔ)建設(shè)(地面、墻面、天花板)→安裝凈化設(shè)備(FFU、空調(diào))→裝修密封→設(shè)備調(diào)試。
2、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度測(cè)試:使用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)顆粒物濃度是否符合IS05級(jí)。
壓差測(cè)試:確保潔凈區(qū)對(duì)非潔凈區(qū)保持正壓(210Pa)。
第三方認(rèn)證:邀請(qǐng)專(zhuān)業(yè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行潔凈度等級(jí)認(rèn)證。
四、預(yù)算參考
建設(shè)費(fèi)用:約2000-3000元/㎡(含彩鋼板、地面、密封材料)。
設(shè)備費(fèi)用:FFU+高效過(guò)濾器約3000-4000元/㎡,清洗/干燥設(shè)備等。
其他費(fèi)用:空調(diào)系統(tǒng)、監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、防靜電設(shè)施等。
五、注意事項(xiàng)
人員培訓(xùn):操作人員需穿戴潔凈服并定期培訓(xùn),避免人為污染。
維護(hù)計(jì)劃:定期更換過(guò)濾器、清潔地面和設(shè)備,監(jiān)測(cè)系統(tǒng)需每日校準(zhǔn)。
通過(guò)以上規(guī)劃,可確保生產(chǎn)線(xiàn)在百級(jí)潔凈度下高效運(yùn)行,滿(mǎn)足半導(dǎo)體核心零部件的高標(biāo)準(zhǔn)清洗與封裝需求具體實(shí)施時(shí)建議咨詢(xún)專(zhuān)業(yè)凈化工程公司(如合潔科技)進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)。