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潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
近日,合景智慧建設(shè)(廣東)有限公司子品牌合潔科技凈化工程公司(以下簡稱“合潔科技”)正著力建設(shè)華南某高端半導(dǎo)體芯片廠房EPC總包項目,其核心10級(ISO 1級)潔凈室以近乎“外科手術(shù)級”的環(huán)境控制標準,成為行業(yè)矚目焦點。作為國內(nèi)凈化工程領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè),合潔科技通過創(chuàng)新技術(shù)與精細化施工,為芯片制造打造“無塵無菌”的超級工廠,助力中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破技術(shù)瓶頸。
一、為何芯片制造需要“10級潔凈室”?—— 一?;覊m也能毀掉上億顆芯片
在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中,一顆肉眼不可見的灰塵或一粒0.1微米(相當于頭發(fā)絲的千分之一)的微粒,都可能導(dǎo)致電路短路或性能缺陷。隨著芯片制程進入3納米時代,生產(chǎn)環(huán)境要求近乎“變態(tài)”:
空氣潔凈度:10級潔凈室要求每立方米空氣中≥0.1微米的微粒不超過10個,相當于普通醫(yī)院手術(shù)室潔凈度的千分之一。
溫濕度穩(wěn)定性:光刻機工作時,溫度波動超過±0.1℃或濕度偏差超過±1%,就會導(dǎo)致光刻膠變形,直接降低芯片良品率。
靜電與分子污染防控:人體行走產(chǎn)生的靜電足以擊穿納米級電路,而空氣中微量的化學(xué)氣體(如氨氣)會腐蝕晶圓表面。
合潔科技通過三大核心技術(shù),將理論標準轉(zhuǎn)化為可落地的工業(yè)實踐。
二、從“鋼筋水泥”到“納米級潔凈”:合潔如何打造芯片制造的“無菌室”?
1. 空氣凈化:像篩面粉一樣過濾每一粒塵埃
層層攔截:采用“初效+中效+超高效”三級過濾系統(tǒng),其中天花板滿布超高效過濾器(過濾效率99.9995%),相當于用“分子篩”攔截比PM2.5小500倍的微粒。
氣流控制:通過計算機模擬設(shè)計單向?qū)恿?,讓空氣像“瀑布”般均勻向下流動,確保無死角凈化,風(fēng)速偏差控制在±20%以內(nèi)。
2. 環(huán)境穩(wěn)定:比恒溫箱更精準的“氣候控制”
雙冷源除濕:針對南方高濕環(huán)境,采用預(yù)冷+深度冷卻組合技術(shù),將空氣露點溫度降至-10℃以下,濕度波動控制在±1%以內(nèi)。
智能調(diào)控:依托自研控制系統(tǒng),實時監(jiān)測500多項環(huán)境參數(shù),自動調(diào)節(jié)空調(diào)、加濕設(shè)備,溫度精度達±0.1℃,堪比實驗室級恒溫箱。
3. 防污染設(shè)計:從地面到管道的“全副武裝”
防靜電地面:采用特殊環(huán)氧涂層,電阻值精準控制在百萬至十億歐姆之間,確保靜電瞬間導(dǎo)出。
氣體管道“零泄漏”:高純氣體管道焊接后,用氦氣檢測泄漏率(小于1萬億分之一),相當于檢測一個游泳池里的一滴水是否泄露。
三、20年技術(shù)積淀:從實驗室到生產(chǎn)線的成功密碼
合潔科技深耕高端制造領(lǐng)域20年,曾為多家行業(yè)巨頭打造標桿項目:
某存儲芯片大廠12英寸晶圓產(chǎn)線:交付10級潔凈室及分子污染防控系統(tǒng),良品率提升至99.99%。
某新型顯示材料超級工廠:創(chuàng)新模塊化施工技術(shù),將工期壓縮25%,成為行業(yè)“又快又好”的典范。
粵港澳大灣區(qū)某項目:集成智能運維平臺,實現(xiàn)能耗降低30%,年省電費超千萬元。
四、未來愿景:為中國芯片裝上“環(huán)境引擎”
“芯片制造是萬億顆微粒的戰(zhàn)爭,潔凈室就是第一道防線?!焙蠞嵖萍技夹g(shù)總監(jiān)表示,“我們不僅提供廠房構(gòu)建從設(shè)計、施工到服務(wù)的全生命周期保障體系,還將從甲方成本、節(jié)能、擴展等方面深化考慮?!?/span>
此次項目的成功合作,標志著合潔科技在半導(dǎo)體高端制造領(lǐng)域再樹標桿。憑借“技術(shù)+標準+經(jīng)驗”的三重優(yōu)勢,合景智慧建設(shè)(廣東)有限公司正成為“中國芯”崛起背后不可或缺的隱形冠軍。
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