百級半導體凈化車間的安裝與調試是一個復雜且精細的過程，涉及多個系統(tǒng)和環(huán)節(jié)。以下是合潔科技電子凈化工程公司根據當前信息整理的安裝與調試方法：

　　安裝方法

　　1、前期準備

　　勘察與規(guī)劃：工作人員需上門勘察，測量數據，與建設單位交流，了解生產工藝，遵照GMP等相關要求進行詳細的施工程序規(guī)劃。

　　材料準備：準備施工材料，如保溫圍板、鋁合金材料(U型槽鋁、吊頂T型鋁等)、FFU、高效過濾器、潔凈工作臺、潔凈風柜、燈具、五金交電等。

　　2、基礎施工

　　墻面與吊頂：進行墻面和吊頂的施工，確保密封性和平整度，使用符合無塵車間要求的材料。

　　門窗安裝：安裝潔凈門和傳遞窗，確保門框和門扇的密封性，符合防靜電要求。

　　3、系統(tǒng)安裝

　　FFU及高效過濾器安裝：

　　小心取出高效過濾器，檢查是否有損壞。

　　將FFU及高效過濾器安裝在吊頂龍骨上，注意輕拿輕放，避免觸碰過濾器表面。

　　對齊龍骨四邊平行放下過濾器，注意風向，出風面應朝下。

　　將FFU箱體對齊過濾器四周放下，根據廠家提供的電路圖和電氣規(guī)章連接電源。

　　風管系統(tǒng)安裝：進行風管保溫和安裝，確保密封性和風量分配。

　　其他系統(tǒng)安裝：包括高純水系統(tǒng)、高純氣體系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、化學品供應系統(tǒng)、排風和排氣系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)等。

　　4、地面處理

　　選擇合適的地坪漆進行地面涂裝，確保防塵、耐磨、易清潔。

　　調試方法

　　1、空氣凈化系統(tǒng)調試

　　檢查空氣凈化設備的運行狀態(tài)，確保無異常噪音和振動。

　　使用塵埃粒子計數器檢測車間內不同區(qū)域的塵埃粒子濃度，確保達到預定的潔凈度標準(百級)。

　　調節(jié)風量、風速和風向，確?？諝饬魍ň鶆?，無死角。

　　2、溫濕度控制調試

　　確保溫濕度控制設備正常運行，根據生產需求設定合適的溫濕度范圍。

　　對溫濕度傳感器進行校準，確保檢測數據的準確性。

　　測試車間內的溫濕度分布，確保分布均勻。

　　3、靜電防護系統(tǒng)調試

　　檢查靜電防護設備的運行狀態(tài)，確保其正常工作。

　　測試車間內的靜電場強度，確保控制在安全范圍內。

　　測試靜電防護設備的接地電阻，確保符合標準要求。

　　4、照明系統(tǒng)調試

　　檢查照明設備的運行狀態(tài)，確保各燈具正常工作，無損壞或故障。

　　測試車間內的光照度，確保滿足生產需求，避免過強或過弱的光照對工作人員造成不適。

　　5、輔助系統(tǒng)調試

　　對給排水系統(tǒng)、消防系統(tǒng)、通風系統(tǒng)等輔助系統(tǒng)進行逐一檢查和測試，確保其正常運行并滿足生產需求。

　　6、整體運行測試

　　模擬實際生產環(huán)境，檢查無塵車間內的各項指標是否滿足生產需求。

　　對環(huán)境參數進行連續(xù)監(jiān)測和記錄，以便及時發(fā)現和解決問題。

　　7、人員培訓

　　對工作人員進行培訓和指導，確保他們能夠熟練掌握無塵車間的使用和維護方法。

　　通過以上安裝與調試方法，可以確保百級半導體凈化車間達到預定的潔凈度和生產要求，為半導體產品的生產提供有力保障。