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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 千級半導(dǎo)體凈化車間工程參數(shù)要求

千級半導(dǎo)體凈化車間工程參數(shù)要求

2024-01-24
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  千級半導(dǎo)體凈化車間是一種高潔凈級別的車間環(huán)境,用于半導(dǎo)體生產(chǎn)和制造過程。以下是一些常見的千級半導(dǎo)體凈化車間工程參數(shù)要求,具體隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下吧!

  千級半導(dǎo)體凈化車間工程是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害物質(zhì)等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一范圍之內(nèi),而給予特別的房間。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這就是業(yè)內(nèi)俗稱級別的千級凈化。

  千級半導(dǎo)體凈化車間工程參數(shù):

  千級半導(dǎo)體凈化車間工程室內(nèi)空氣參數(shù)要求:

  (1)溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對濕度為55+5%;

  (2)新風(fēng)量大:由于這類車間內(nèi),人員比較多,可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的大值:非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%,補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量,保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h;


千級半導(dǎo)體凈化車間


  (3)送風(fēng)量大:為了滿足無塵車間內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡,需要較大的送風(fēng)量,就300平方米的車間,吊頂高度為2.5米的,如果是萬級,送風(fēng)量就需要 300×2.5×30=22500m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù),是≥25次/h);如果是十萬級,送風(fēng)量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù) 是≥15次/h)。

  千級半導(dǎo)體凈化車間工程是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間,亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

  以上是一些常見的千級半導(dǎo)體凈化車間工程參數(shù)要求。具體的要求可能會根據(jù)不同的項(xiàng)目和標(biāo)準(zhǔn)有所不同,因此建議與專業(yè)的凈化車間設(shè)計(jì)師或工程師合作,以確保設(shè)計(jì)方案符合相關(guān)要求。

EPC無塵凈化工程案例

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