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電子廠生產(chǎn)工藝對無塵車間環(huán)境的要求

2023-12-20
共有5157家企業(yè)看過

  有很多電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,那么,電子工廠生產(chǎn)工藝對無塵車間環(huán)境有什么要求呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠;液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機(jī)電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有:建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料,而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如:建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的裝修材料;環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力;水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。

  1、面積大:生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈室的面積來說,5代TFT生產(chǎn)用潔凈室的面積約28000m2;6代TFT潔凈室的面積約40000m2;到了8代TFT生產(chǎn)用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。


電子潔凈工程


  2、潔凈度高:電子工廠,尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越高。例如,12時(shí)園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達(dá)1級(0.1um)也就是每立方英尺空氣中≥0.1um的粒子數(shù)不能超過1顆。相當(dāng)于ISO1級。

  3、精度高:電子工廠生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越高。還以上述微電子的光刻間為例:其溫度精度為士0.1℃,相對濕度的精度為士3%。

  4、純度要求高:大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊?。例如:對高純水而言,不僅對其電阻率有要求,而且對高純水中所含粒子、細(xì)菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求,隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展,對其純度的要求也越來越高。可謂純之又純。

  5、要求更嚴(yán)格:電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對環(huán)境的潔凈度,溫、濕度有嚴(yán)格的要求,同時(shí)對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn),對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時(shí)還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過濾器來吸附新風(fēng)中的有害分子成份。

  正因?yàn)殡娮訌S無塵車間的生產(chǎn)工藝對潔凈環(huán)境提出了更高的要求,所以電子無塵車間的裝修建設(shè)難度也越來越大,為此,一定要找靠譜專業(yè)的凈化工程公司來進(jìn)行專業(yè)的裝修建設(shè),否則電子無塵車間但凡有一點(diǎn)不達(dá)標(biāo),帶來的后果就是很嚴(yán)重的。

EPC無塵凈化工程案例

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