晶圓潔凈廠房的空調系統(tǒng)是很重要的存在，空調系統(tǒng)的布置有多種分類，如果按照空氣處理設備布置情況分類的話，可以分為以下幾種。具體隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

　　1、集中式空調系統(tǒng)

　　所有空氣處理設備包括：風機、加熱、冷卻設備、加濕、減濕設備、過濾器等都集中設置在一個空調機房內，稱為集中式空調系統(tǒng)?？諝饨涍^集中處理后，再送往各個空調房間內。

　　優(yōu)點：服務面積大，處理空氣多，便于集中管理。

　　缺點：只能送出同一參數的空氣，難以滿足不同的要求，另外，由于冷源采用集中式供應，處理空氣量大，機房占地面積較大，只適用于滿負荷運行的大型場所。

　　其中室內回風和室外新風混合后經過處理再通過送風管道送到每個空調房間是一種常見的方式。

　　回風和新風再送入每個房間之前必須通過集中的空氣處理裝置(組合式空調箱)進行降溫/升溫、加濕/去濕處理，再通過主風道和各個支管風道送入每個空調房間，以保證房間所要求的溫度和濕度要求。

　　2、半集中式空調系統(tǒng)

　　這種系統(tǒng)的特點是除了設有集中的空調機房外，還設有分散在各個房間的二次處理設備(又稱為末端裝置)來承擔一部分冷熱負荷。

　　在半集中式系統(tǒng)中，空氣處理所需的冷、熱源也是由集中設置的冷凍站、交換站供給。因此，集中式和半集中式空調系統(tǒng)又統(tǒng)稱為中央空調系統(tǒng)。

　　優(yōu)點：占建筑空間小，各空調房間可根據需要獨立調節(jié)室溫，房間無人時，可單獨關閉室內機組的風機，節(jié)省運行費用。

　　缺點：布置分散，系統(tǒng)復雜，維護管理不方便。

　　3、分散式空調系統(tǒng)

　　又稱為局部空調系統(tǒng)。它是把空氣處理所需的冷熱源、空氣處理和輸送設備、控制設備等集中設置在一個箱體內，組成一個緊湊的空調機組?？砂凑招枰?，靈活、方便地設置在需要空調的地方。全分散空調系統(tǒng)不需要集中的空氣處理機房。

　　常用的有單元式空調器系統(tǒng)，窗式空調器系統(tǒng)和分體式空調器系統(tǒng)。

　　4、精密空調系統(tǒng)

　　精密空調系統(tǒng)是一種專門用于潔凈廠房的空調系統(tǒng)，具備高精度的溫濕度控制能力。它通常采用多個空調單元組成，每個單元負責一個小范圍的溫濕度控制，以確保晶圓制造過程中的精確要求。

　　5、風淋室空調系統(tǒng)

　　風淋室是晶圓潔凈廠房中的特殊區(qū)域，用于對進入潔凈區(qū)域的人員和物品進行除塵處理。風淋室空調系統(tǒng)通過高速氣流從頂部吹向底部，將空氣中的顆粒物帶走。該系統(tǒng)通常采用高效過濾器和風機組成。

　　這些空調系統(tǒng)根據晶圓潔凈廠房的需求和規(guī)模的不同，可以選擇適合的空調系統(tǒng)進行安裝和使用。重要的是確?？照{系統(tǒng)能夠提供穩(wěn)定的溫濕度控制，并符合潔凈度等級的要求。