住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標準《集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范》的公告

　　現(xiàn)批準《集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范》為國家標準，編號為GB 51122-2015，自2016年5月1日起實施。其中，第5.3.1條為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

　　中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

　　2015年8月27日

　　前言

　　本規(guī)范是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2012年工程建設(shè)標準規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標[2012]5號)的要求，由工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院電子工程標準定額站和信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司會同有關(guān)單位共同編制完成。

　　本規(guī)范編制過程中，編制組經(jīng)過廣泛調(diào)查研究，認真總結(jié)實踐經(jīng)驗并參考國內(nèi)外有關(guān)標準，廣泛吸取了國內(nèi)有關(guān)單位和專家的意見，并反復(fù)修改，經(jīng)審杏定稿。

　　本規(guī)范共分10章和1個附錄。主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語、工藝設(shè)計、廠址選擇及布局、建筑與結(jié)構(gòu)、給排水與消防、電氣、凈化空調(diào)及工藝排風、純水與廢水處理、氣體與真空等。

　　本規(guī)范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負責管理和對強制性條文的解釋，工業(yè)和信息化部負責日常管理，信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司負責具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。執(zhí)行過程中如有意見或建議請寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司《集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范》管理組(地址：四川省成都市雙林路251號，郵政編碼：610021，傳真：028-84333172)。

　　本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：

　　主編單位：工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院電子工程標準定額站

　　                信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司

　　參編單位：中國電子工程設(shè)計院

　　               江蘇長電科技股份有限公司

　　               無錫華潤微電子有限公司

　　主要起草人：王毅勃 江元升 李驥 肖勁戈 黃華敬 王春 夏雙兵 車俊 朱琳 周向榮 肖紅梅 黃一義 宋祝寧 王明云 閆詩源

　　主要審查人：陳霖新 王開源 鄭秉孝 張人茂 童大江 陳光鴻 李建強 薛長立 何為

　　以下規(guī)范內(nèi)容由合潔科技電子凈化工程m.qyglass.com/進行整理編輯

　　1 總 則

　　1.0.1 為規(guī)范集成電路封裝測試廠的工程設(shè)計，做到安全適用、技術(shù)先進、經(jīng)濟合理、節(jié)能環(huán)保，制定本規(guī)范。

　　1.0.2 本規(guī)范適用于新建、改建和擴建的集成電路封裝測試廠設(shè)計。

　　1.0.3 集成電路封裝測試廠設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定。

　　2 術(shù) 語

　　2.0.1 晶圓 wafer

　　經(jīng)過集成電路前工序加工后，形成了電路管芯的硅或其他化合物半導(dǎo)體的圓形單晶片。

　　2.0.2 中測 chip testing

　　對完成前工序工藝的晶圓進行器件標準和功能性電學(xué)測試。

　　2.0.3 磨片 wafer grinding

　　通過磨輪磨削等手段對晶圓背面減薄，以滿足劃片加工的厚度要求。

　　2.0.4 劃片 wafer saw

　　將減薄后的晶圓切割成獨立的芯片。

　　2.0.5 粘片 die bond

　　將切割好的芯片置放到引線框架或封裝襯底或基座條帶上。

　　2.0.6 焊線 wire bond

　　芯片上的引線孔通過金線或銅線等與框架襯底上的引腳連接，使芯片電路能與外部電路連通。

　　2.0.7 塑封 molding

　　環(huán)氧樹脂經(jīng)模注、灌封、壓入等工序?qū)⑿酒?、框架或基板、電極引線等封為一體。

　　2.0.8 電鍍 plating

　　在框架引腳上形成保護性鍍層，以增強可焊性。

　　2.0.9 成品測試 testing

　　對包封后的集成電路產(chǎn)品分選測試的過程。

　　2.0.10 晶圓級封裝 wafer level packaging

　　在完整晶圓上完成包括成品測試在內(nèi)的各道工藝，最后切割成單個電路的封裝形式。

　　2.0.11 通孔 through silicon via

　　采用深層等離子刻蝕、激光加工或濕法刻蝕等方式在芯片和芯片之間、潔凈廠房，凈化工程，無塵車間晶圓和晶圓之間制作垂直導(dǎo)通。

　　2.0.12 凸塊 bumping

　　采用金、鉛錫或銅等材料利用薄膜或化學(xué)鍍工藝制成倒裝芯片電路的接觸點。

　　3 工藝設(shè)計

　　3.1 一般規(guī)定

　　3.1.1 生產(chǎn)環(huán)境宜符合表3.1.1的要求。

　　表3.1.1 生產(chǎn)環(huán)境需求表

　　3.1.2 生產(chǎn)過程所使用純水的電阻率應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 用于硅片清洗的純水電阻率不宜低于15MΩ·cm;

　　2 用于硅片劃片的純水電阻率宜在0.5MΩ·cm～1MΩ·cm范圍內(nèi);

　　3 用于電鍍工藝的純水電阻率不宜低于2MΩ·cm。

　　3.1.3 生產(chǎn)過程所使用氣體的品質(zhì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 用于通孔、凸塊工序的氣體純度不宜低于99.9999%、露點不宜低于—60℃;

　　2 用于中測、磨片、劃片、粘片、焊線、塑封等工序的氣體純度宜在99.99%～99.9999%范圍內(nèi)、露點宜在—40℃～—60℃范圍內(nèi)。

　　3.2 技術(shù)設(shè)備

　　3.2.1 工藝技術(shù)應(yīng)根據(jù)芯片互聯(lián)及封裝的類型確定，并應(yīng)具有擴展的靈活性。

　　3.2.2 工藝設(shè)計應(yīng)明確技術(shù)設(shè)備的各種工藝條件，做到投資省、運行費用低。

　　3.2.3 生產(chǎn)設(shè)備的選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 設(shè)備選擇應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品類型及產(chǎn)能要求確定各工序設(shè)備數(shù)量;

　　2 生產(chǎn)設(shè)備自動化程度應(yīng)適應(yīng)產(chǎn)能的要求;

　　3 生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)適應(yīng)連續(xù)運行的要求。

　　3.3 工藝布局

　　3.3.1 工藝布局應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)按照工藝流程順序布置，避免交叉;

　　2 輔助設(shè)施應(yīng)靠近生產(chǎn)區(qū);

　　3 物流人流應(yīng)分開設(shè)置。

　　3.3.2 生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置單獨的設(shè)備和物料出入口，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間并應(yīng)配置相應(yīng)的物料凈化設(shè)施。

　　3.3.3 生產(chǎn)區(qū)凈高應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)設(shè)備及安裝確定。

　　3.3.4 生產(chǎn)區(qū)內(nèi)宜設(shè)置原材料、成品及設(shè)備備品備件暫存區(qū)域。

　　3.3.5 生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置單獨人員出入口，人員進入7級以上凈化區(qū)應(yīng)經(jīng)過風淋系統(tǒng)。

　　3.3.6 生產(chǎn)區(qū)操作人員走道寬度應(yīng)根據(jù)設(shè)備操作、人員通行及材料搬運需要確定。

　　3.3.7 生產(chǎn)潔凈區(qū)宜設(shè)置參觀走道。

　　4 廠址選擇及布局

　　4.1 廠址選擇

　　4.1.1 廠址選擇應(yīng)符合國家及地方總體規(guī)劃要求，宜選擇在遠離散發(fā)大量粉塵、有嚴重空氣污染的區(qū)域。

　　4.1.2 廠址選擇應(yīng)考慮市政給排水、動力供應(yīng)、通信設(shè)施完善和交通便利等因素。

　　4.2 總平面布局

　　4.2.1 廠區(qū)總平面布局應(yīng)適應(yīng)生產(chǎn)工藝特點及技術(shù)升級。

　　4.2.2 廠區(qū)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)要求確定，宜按辦公、生產(chǎn)、倉儲、動力功能進行布局。

　　4.2.3 廠區(qū)人流、物流出入口宜分開設(shè)置。

　　4.2.4 廠區(qū)車輛停放場地應(yīng)根據(jù)物流、人員數(shù)量及當?shù)亟煌顩r構(gòu)成特點確定。

　　4.2.5 生產(chǎn)廠房宜設(shè)環(huán)形消防通道或沿廠房長邊的兩側(cè)設(shè)消防通道。

　　4.2.6 廠區(qū)道路路面應(yīng)采用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

　　4.2.7 廠區(qū)內(nèi)綠化宜采用無飛絮的常綠樹種和草皮。

　　5 建筑與結(jié)構(gòu)

　　5.1 建 筑

　　5.1.1 生產(chǎn)廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)滿足產(chǎn)品工藝要求，并應(yīng)適應(yīng)工廠發(fā)展及技術(shù)升級。

　　5.1.2 生產(chǎn)廠房外圍構(gòu)造應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對氣密、保溫、隔熱、防潮、易清洗的要求。

　　5.1.3 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置設(shè)備運輸安裝通道，并宜設(shè)置貨梯、吊裝口及吊裝平臺。

　　5.1.4 生產(chǎn)廠房外窗宜采用節(jié)能型窗。

　　5.1.5 生產(chǎn)廠房電鍍區(qū)地面應(yīng)進行防腐處理。

　　5.1.6 裝修和密封材料應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472和《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。

　　5.1.7 裝修材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準潔凈廠房，凈化工程，無塵車間《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T 8627的有關(guān)規(guī)定。

　　5.2 結(jié) 構(gòu)

　　5.2.1 生產(chǎn)廠房應(yīng)根據(jù)抗震設(shè)防類別及地震烈度等級進行抗震設(shè)計，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑工程抗震設(shè)防分類標準》GB 50223的有關(guān)規(guī)定。

　　5.2.2 生產(chǎn)廠房的主體結(jié)構(gòu)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，宜采用大跨度鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)、鋼結(jié)構(gòu)或兩種結(jié)構(gòu)的組合。

　　5.2.3 生產(chǎn)廠房柱網(wǎng)尺寸宜采用600mm的模數(shù)。

　　5.2.4 生產(chǎn)廠房變形縫不宜穿越潔凈生產(chǎn)區(qū)。

　　5.2.5 生產(chǎn)廠房為無縫超長混凝土結(jié)構(gòu)時，應(yīng)采取防開裂設(shè)計措施。

　　5.2.6 生產(chǎn)廠房當有微振控制要求時，應(yīng)采取相應(yīng)防微振措施。

　　5.3 防火與疏散

　　5.3.1 生產(chǎn)廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。

　　5.3.2 生產(chǎn)廠房的火災(zāi)危險性分類應(yīng)為丙類，防火分區(qū)的劃分應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

　　5.3.3 每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 安全出口數(shù)量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定;

　　2 安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標志;

　　3 安全疏散距離可根據(jù)生產(chǎn)工藝確定，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

　　6 給排水與消防

　　6.1 給 排 水

　　6.1.1 給排水系統(tǒng)應(yīng)滿足生產(chǎn)、生活、消防以及環(huán)保等要求，并應(yīng)根據(jù)水質(zhì)、水壓、水溫的要求分別設(shè)置。

　　6.1.2 生產(chǎn)和生活給水系統(tǒng)宜利用市政給水管網(wǎng)的水壓直接供水。

　　6.1.3 當市政給水管網(wǎng)水壓、水量不能滿足要求時，生產(chǎn)、生活給水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置貯水裝置和加壓裝置。并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 貯水裝置不得影響水質(zhì);

　　2 加壓裝置宜采用變頻調(diào)速設(shè)備;

　　3 加壓裝置應(yīng)設(shè)置備用泵，備用泵供水能力不應(yīng)小于供水泵中最大一臺的供水能力。

　　6.1.4 潔凈區(qū)內(nèi)工藝設(shè)備的生產(chǎn)排水宜采用直接接管排水，當設(shè)置事故地漏時，應(yīng)采取氣密措施。

　　6.1.5 潔凈區(qū)內(nèi)的給排水管道應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的材料，同時管道不宜設(shè)置在工藝設(shè)備上方。

　　6.1.6 生產(chǎn)廠房內(nèi)使用或接觸酸堿類化學(xué)品的區(qū)域，應(yīng)設(shè)置緊急淋浴洗眼器。

　　6.2 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)

　　6.2.1 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求的水溫、水壓條件進行設(shè)置。當水溫、水壓要求不同時宜分開設(shè)置。

　　6.2.2 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 水泵宜采用變頻調(diào)速控制;

　　2 循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用泵，供水能力不應(yīng)小于最大一臺運行水泵的額定供水能力。

　　6.2.3 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置過濾器及滅菌裝置，過濾器宜備用，過濾精度應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備對水質(zhì)的要求確定。

　　6.2.4 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的換熱設(shè)備宜設(shè)置備用機組。

　　6.2.5 循環(huán)水箱的有效容積不宜小于小時循環(huán)水量的10%，且應(yīng)設(shè)置水位報警裝置和自動及應(yīng)急補水系統(tǒng)。

　　6.2.6 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)管道的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 管道應(yīng)設(shè)置泄水閥、排氣閥和排污口;

　　2 工藝冷卻水管道材質(zhì)宜采用不銹鋼管、給水UPVC管或聚丙烯PP管;

　　3 管道附件與閥門材質(zhì)宜與管道相同;

　　4 采用不同金屬材料的管道和支架時，管道和支架間的隔墊應(yīng)采用絕緣材料。

　　6.2.7 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置水質(zhì)穩(wěn)定處理裝置。

　　6.3 消防給水和滅火設(shè)備

　　6.3.1 消防水泵及給水系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

　　6.3.2 廠房應(yīng)設(shè)置下列滅火系統(tǒng)：

　　1 室內(nèi)消火栓系統(tǒng);

　　2 自動噴水滅火系統(tǒng);

　　3 滅火器系統(tǒng)。

　　6.3.3 生產(chǎn)廠房潔凈生產(chǎn)層及潔凈區(qū)吊頂或技術(shù)夾層內(nèi)均宜設(shè)置濕式自動噴水滅火系統(tǒng)，設(shè)計參數(shù)宜符合表6.3.3的要求。

　　表6.3.3 自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計參數(shù)表

　　6.3.4 潔凈室內(nèi)自動噴水滅火系統(tǒng)當采用干式自動噴水滅火系統(tǒng)或預(yù)作用自動噴水滅火系統(tǒng)時，管網(wǎng)容積及充水時間應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50084有關(guān)規(guī)定，且系統(tǒng)計算作用面積應(yīng)放大30%。

　　6.3.5 在潔凈區(qū)內(nèi)各場所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

　　6.3.6 潔凈區(qū)內(nèi)宜選用對工藝設(shè)備和潔凈區(qū)環(huán)境不產(chǎn)生污染和腐蝕作用的滅火劑。

　　6.3.7 潔凈區(qū)內(nèi)通道宜設(shè)置推車式二氧化碳滅火器。

　　7 電 氣

　　7.1 供 配 電

　　7.1.1 供電電壓應(yīng)根據(jù)當?shù)仉娋W(wǎng)結(jié)構(gòu)以及工廠負荷容量確定。

　　7.1.2 用電負荷等級不宜低于二級，供電品質(zhì)應(yīng)滿足封裝測試工藝及設(shè)備要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定。

　　7.1.3 低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備及動力設(shè)備用電要求。

　　7.1.4 工藝設(shè)備與動力設(shè)備的配電應(yīng)分開設(shè)置。

　　7.1.5 配電設(shè)備上方不宜設(shè)置水管。

　　7.2 照 明

　　7.2.1 生產(chǎn)廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，照度不應(yīng)低于5.0lx。疏散標志應(yīng)設(shè)置在安全出入口、疏散通道和疏散通道轉(zhuǎn)角處。

　　7.2.2 潔凈區(qū)宜采用吸頂明裝式燈具，當采用嵌入式燈具時，安裝縫隙應(yīng)采取密封措施。

　　7.2.3 生產(chǎn)廠房備用照明設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)設(shè)計備用照明;

　　2 備用照明宜作為正常照明的一部分，且不宜低于該場所一般照明照度值的20%。

　　7.3 接 地

　　7.3.1 生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)，接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定。

　　7.3.2 生產(chǎn)設(shè)備的功能性接地與其他接地分開設(shè)置時，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊措施。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極宜與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。

　　7.3.3 生產(chǎn)廠房防雷接地設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。

　　7.4 防 靜 電

　　7.4.1 主要生產(chǎn)區(qū)應(yīng)為一級防靜電工作區(qū)。生產(chǎn)廠房防靜電接地設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子工程防靜電設(shè)計規(guī)范》GB 50611的有關(guān)規(guī)定。

　　7.4.2 防靜電工作區(qū)的地面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型材料，導(dǎo)靜電型地面電阻宜為2.5×104Ω～1×106Ω。

　　7.4.3 生產(chǎn)廠房內(nèi)導(dǎo)靜電地面、工作臺面、座椅等設(shè)施應(yīng)作防靜電接地。潔凈室的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌軕?yīng)與接地系統(tǒng)可靠連接。

　　7.4.4 防靜電接地主干線截面不應(yīng)小于95mm2，支線最小截面不應(yīng)小于2.5mm2。

　　7.5 通信與安全保護

　　7.5.1 集成電路封裝測試工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)通信設(shè)施并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 廠房內(nèi)電話(數(shù)據(jù)布線)應(yīng)采用綜合布線系統(tǒng)，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間綜合布線系統(tǒng)的配線間或配線柜不應(yīng)設(shè)置在工藝潔凈區(qū)內(nèi);

　　2 根據(jù)管理及工藝的需要應(yīng)設(shè)置數(shù)據(jù)通信局域網(wǎng)及與因特網(wǎng)連接的接入網(wǎng)。

　　7.5.2 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制系統(tǒng)。

　　7.5.3 火災(zāi)自動報警系統(tǒng)應(yīng)采用控制中心報警系統(tǒng)，防護對象的等級不應(yīng)低于二級，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 火災(zāi)自動報警系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有消防值班室，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定;

　　2 控制設(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定;

　　3 生產(chǎn)廠房內(nèi)火災(zāi)探測應(yīng)采用智能型探測器。當在封閉房間內(nèi)使用可燃氣體及有機溶劑時，房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置可燃氣體探測器及火焰探測器;

　　4 在潔凈區(qū)空氣處理設(shè)備的新風機出口及(或)循環(huán)風的回風口處宜設(shè)風管型火災(zāi)探測器。

　　7.5.4 生產(chǎn)廠房內(nèi)使用氮氫混合氣體的區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體濃度監(jiān)測報警裝置。

　　7.5.5 生產(chǎn)廠房應(yīng)設(shè)置廣播系統(tǒng)，潔凈區(qū)內(nèi)的揚聲器宜采用潔凈室型。當廣播系統(tǒng)兼事故應(yīng)急廣播系統(tǒng)時應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

　　7.5.6 工廠內(nèi)宜設(shè)置閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)及門禁系統(tǒng)。

　　8 凈化空調(diào)及工藝排風

　　8.1 凈化空調(diào)

　　8.1.1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的選型應(yīng)根據(jù)潔凈區(qū)面積、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。

　　8.1.2 氣流流型的設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。當空氣潔凈度等級要求為6級～9級時，宜采用非單向流。當空氣潔凈度等級為5級時，應(yīng)采用單向流或混合流。

　　8.1.3 潔凈區(qū)內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項中的最大值：

　　1 補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和;

　　2 保證供給潔凈區(qū)內(nèi)人員所需的新鮮空氣量。

　　8.1.4 潔凈區(qū)與周圍的空間應(yīng)按照工藝要求保持正壓，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 不同等級的潔凈區(qū)之間壓差不宜小于5Pa;

　　2 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間壓差不應(yīng)小于5Pa;

　　3 潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于5Pa。

　　8.1.5 潔凈區(qū)凈化空調(diào)系統(tǒng)采用的方式應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 凈化空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置集中新風處理系統(tǒng)，新風處理系統(tǒng)送風機應(yīng)采取變頻控制措施;

　　2 凈化空調(diào)循環(huán)系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)流程、潔凈度等級、溫度、相對濕度、熱負荷進行劃分;

　　3 循環(huán)空調(diào)系統(tǒng)宜采用干式冷卻方式;

　　4 采用室外空氣與循環(huán)空氣混合的空調(diào)系統(tǒng)時，宜設(shè)置二次回風。

　　8.1.6 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用空氣過濾器類型和組合;

　　2 空氣過濾器的處理風量應(yīng)小于或等于額定風量;

　　3 空調(diào)機組的末級過濾器宜采用中效過濾器或亞高效過濾器，并應(yīng)集中安裝在空調(diào)箱的正壓段;

　　4 凈化空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置末端高效過濾器;

　　5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效過濾器的阻力、效率宜相近;

　　6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效過濾器的設(shè)計使用風量與額定風量的比值宜相近;

　　7 安裝在潔凈廠房潔凈區(qū)內(nèi)的高效空氣過濾器應(yīng)采用不燃材料制作。

　　8.2 冷 熱 源

　　8.2.1 工廠的冷熱源設(shè)置應(yīng)滿足當?shù)貧夂?、能源結(jié)構(gòu)、技術(shù)經(jīng)濟指標。

　　8.2.2 在需要同時供冷和供熱的工況下，冷水機組可根據(jù)負荷要求選用熱回收機組，并宜采用自動控制方式調(diào)節(jié)機組的供熱量。

　　8.2.3 冷熱源設(shè)備臺數(shù)和單臺容量應(yīng)根據(jù)全年冷熱負荷工況選擇，并應(yīng)保證設(shè)備在高、低負荷工況下均能安全、高效運行。冷熱源設(shè)備宜設(shè)置不少于一臺的備用機組。

　　8.2.4 冬季或過渡季節(jié)室外溫度較低的地區(qū)，可利用冷卻塔作為冷源設(shè)備。

　　8.2.5 冷水機組的冷凍水供、回水溫差不應(yīng)小于5℃，在滿足工藝及空調(diào)用冷凍水溫度時，應(yīng)加大冷凍水供、回水溫差和提高冷水機組的出水溫度。

　　8.2.6 冷凍水二次泵的單臺容量選擇應(yīng)考慮全年負荷的最大值與最小值，同時冷凍水二次泵宜采用變頻控制。

　　8.2.7 鍋爐房排放的大氣污染物，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《鍋爐大氣污染物排放標準》GB 13271的有關(guān)規(guī)定，以及當?shù)卮髿馕廴疚锱欧乓蟆?/span>

　　8.3 工藝排風

　　8.3.1 工藝排風系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)按照工藝設(shè)備排風性質(zhì)設(shè)置獨立的排風系統(tǒng)。

　　8.3.2 工藝排風系統(tǒng)宜設(shè)置變頻控制系統(tǒng)。

　　8.3.3 工藝排風管道穿越防火墻或樓板處應(yīng)設(shè)置防火閥。

　　8.3.4 工藝排風管道應(yīng)采用不燃材料，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間腐蝕性排風管道可采用難燃材料。

　　8.3.5 排煙系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《電子潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472的有關(guān)規(guī)定。

　　9 純水與廢水處理

　　9.1 純 水

　　9.1.1 純水系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，確定純水制備系統(tǒng)規(guī)模、供水水質(zhì)。當主體工程分期建設(shè)時，純水系統(tǒng)應(yīng)按最終規(guī)模統(tǒng)一規(guī)劃、合理布局、分期實施。

　　9.1.2 純水制備、儲存和輸送設(shè)備和材料除應(yīng)滿足水量和水質(zhì)要求外，并應(yīng)光潔、平整，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。

　　9.1.3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 純水輸配系統(tǒng)的附加循環(huán)水量宜為額定耗用水量的20%～50%;

　　2 純水回水干管末端應(yīng)設(shè)置背壓調(diào)節(jié)閥組;

　　3 純水管道流速選擇應(yīng)能有效防止水質(zhì)降低和微生物的滋生，并應(yīng)兼顧壓力損失。供、回水管流速不宜低于1.5m/s和0.5m/s;

　　4 純水輸配管路不應(yīng)出現(xiàn)死水滯留的管段;

　　5 純水輸配管路系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)系統(tǒng)運行維護要求設(shè)置對應(yīng)的采樣口;

　　6 工藝設(shè)備二次配管，隔離閥離設(shè)備較遠時，宜安裝回水管。

　　9.1.4 純水系統(tǒng)水質(zhì)檢測設(shè)備及儀表的檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。

　　9.1.5 純水系統(tǒng)循環(huán)水泵宜采用變頻控制，并宜設(shè)置備用泵。

　　9.1.6 純水系統(tǒng)拋光回路中所需的保持流量與水質(zhì)的設(shè)備宜接入應(yīng)急電源。

　　9.1.7 純水系統(tǒng)廢水回收設(shè)計應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)計密切配合，確定回收率。

　　9.2 廢水處理

　　9.2.1 生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)廢水污染物種類、水量、當?shù)貜U水排放要求等設(shè)置分類收集、處理的廢水處理系統(tǒng)。

　　9.2.2 腐蝕性廢水有壓管道在穿越人員密集區(qū)域時應(yīng)采用雙層管道，不宜采用法蘭連接。

　　9.2.3 生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)易發(fā)生故障及需定期維修的部件應(yīng)按不少于一臺備用配置。輸送系統(tǒng)及提升用水泵宜采用應(yīng)急電源供電。

　　9.2.4 生產(chǎn)廢水處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急廢水收集池。應(yīng)急廢水收集池的容積不宜小于8h排放量并應(yīng)滿足項目環(huán)境影響評價報告的要求。

　　9.2.5 生產(chǎn)廢水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)池，連續(xù)處理系統(tǒng)的調(diào)節(jié)池容積不宜小于4h排放量，間歇處理系統(tǒng)的調(diào)節(jié)池容積不應(yīng)小于一個處理周期的排放量。

　　9.2.6 廢水處理系統(tǒng)設(shè)備及構(gòu)筑物應(yīng)設(shè)置排空設(shè)施，并應(yīng)根據(jù)廢水水質(zhì)采取防腐措施。

　　9.2.7 廢水處理系統(tǒng)化學(xué)品儲罐周圍應(yīng)設(shè)置圍堰。

　　10 氣體與真空

　　10.1 大宗氣體

　　10.1.1 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜采用在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置制氣裝置或外購液態(tài)氣儲罐和瓶裝氣體方式。

　　10.1.2 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜設(shè)置氣體質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng)。

　　10.1.3 當氣體的純度大于99.9999%、露點低于—40℃時，大宗氣體應(yīng)設(shè)置終端氣體純化裝置，氣體終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點處。

　　10.1.4 生產(chǎn)廠房內(nèi)的大宗氣體管道等應(yīng)采取下列技術(shù)措施：

　　1 管道及閥門附件內(nèi)壁處理等級應(yīng)滿足輸送氣體的品質(zhì)要求;

　　2 混合氣體管道的終端或最高點應(yīng)設(shè)置放散管，放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器;

　　3 混合氣體管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的設(shè)施;

　　4 混合氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。

　　10.1.5 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：

　　1 當氣體純度大于99.99%、露點低于—40℃時，宜采用內(nèi)壁處理的不銹鋼管，閥門宜采用波紋管閥或球閥;

　　2 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

　　10.1.6 氣體管道連接，宜符合下列規(guī)定：

　　1 管道連接宜采用焊接，不銹鋼管宜采用氬弧焊;

　　2 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封接頭，密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊。

　　10.2 干燥壓縮空氣

　　10.2.1 干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 供氣規(guī)模應(yīng)按生產(chǎn)工藝平均用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;

　　2 供氣設(shè)備可集中布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的供氣站或生產(chǎn)廠房外的綜合動力站;

　　3 供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑的要求確定。

　　10.2.2 空氣壓縮機及冷凍式干燥裝置的布置應(yīng)保證冷卻空氣排放至室外，防止熱空氣混入冷卻空氣的入口。

　　10.2.3 水冷式空壓機組宜采用閉式循環(huán)水系統(tǒng)。

　　10.2.4 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點低于—40℃時，潔凈廠房，凈化工程，無塵車間可采用不銹鋼管或鍍鋅鋼管，閥門宜采用球閥。

　　10.2.5 壓縮空氣系統(tǒng)管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 壓縮空氣主管道直徑應(yīng)按全系統(tǒng)平均用氣量確定，主支管道直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)平均用氣量確定，支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大用氣量確定;

　　2 干燥壓縮空氣輸送露點低于—40℃時，用于管道連接的密封材料宜選用金屬墊片或聚四氟乙烯墊片;

　　3 管道連接宜采用焊接，不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊。

　　10.3 真 空

　　10.3.1 生產(chǎn)廠房工藝真空系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 工藝真空系統(tǒng)的抽氣能力應(yīng)按生產(chǎn)工藝實際用氣量及系統(tǒng)損耗量確定;

　　2 供氣設(shè)備應(yīng)布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的一個或多個供氣站內(nèi);

　　3 工藝真空系統(tǒng)宜設(shè)置真空壓力過低保護裝置。

　　10.3.2 工藝真空系統(tǒng)管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1 工藝真空管路應(yīng)采用樹枝狀布置形式。

　　2 工藝真空主管道直徑應(yīng)按照系統(tǒng)實際抽氣量確定;主支管道直徑應(yīng)按局部系統(tǒng)實際抽氣量確定;支管道直徑應(yīng)按設(shè)備最大抽氣量確定。

　　3 工藝真空系統(tǒng)管道材料宜根據(jù)工藝真空系統(tǒng)的真空壓力及真空特性選用。真空站房內(nèi)應(yīng)采用鍍鋅鋼管，站房外的室內(nèi)真空管道宜采用鍍鋅鋼管或厚壁聚氯乙烯管道。

　　裝測試廠工藝流程

　　A.0.1 通孔插裝型封裝宜采用下列生產(chǎn)工藝流程：

　　A.0.2 球柵陣列封裝宜采用下列生產(chǎn)工藝流程：

　　A.0.3 晶圓級封裝宜采用下列生產(chǎn)工藝流程：

　　本規(guī)范用詞說明

　　1 為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時區(qū)別對待，對要求嚴格程度不同的用詞說明如下：

　　1)表示很嚴格，非這樣做不可的：

　　正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴禁”;

　　2)表示嚴格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：

　　正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”;

　　3)表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應(yīng)這樣做的：

　　正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”;

　　4)表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。

　　2 條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標準執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)符合……的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。

　　引用標準名錄

　　《鍋爐大氣污染物排放標準》GB 13271

　　《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016

　　《采暖通風與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB 50019

　　《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052

　　《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073

　　《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116

　　《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB 50222

　　《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50472

　　《電子工程防靜電設(shè)計規(guī)范》GB 50611

　　《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057

　　《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50084