半導(dǎo)體工廠是用于制造半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)設(shè)施。半導(dǎo)體器件是現(xiàn)代電子設(shè)備的關(guān)鍵組成部分，如計(jì)算機(jī)、手機(jī)、智能家居設(shè)備等。那么半導(dǎo)體凈化車(chē)間建設(shè)及環(huán)境技術(shù)有哪些要求?今天就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　“半導(dǎo)體工廠”都生產(chǎn)什么?

　　半導(dǎo)體工廠通常被稱(chēng)為“晶圓廠"，因?yàn)樗鼈冎圃斓陌雽?dǎo)體器件是通過(guò)在晶圓上面制造芯片來(lái)實(shí)現(xiàn)的。晶圓是一種基于硅材料的圓片，通過(guò)在其表面上沉積、刻蝕、光刻等過(guò)程來(lái)制造芯片。

　　隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級(jí)，相應(yīng)的產(chǎn)品對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求也越來(lái)越高，因此半導(dǎo)體凈化工程潔凈室內(nèi)系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)對(duì)硅芯片品質(zhì)和通過(guò)率的影響舉足輕重，凈化潔凈室的潔凈等級(jí)也必須有一個(gè)公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)，比如以Class10為例，意謂在單位立方英寸的潔凈室空間內(nèi)，平均只有粒徑0.5微米以上的粉塵10粒。所以Class后頭數(shù)字越小，潔凈度越佳，當(dāng)然其造價(jià)也越昂貴。

　　半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及要求

　　半導(dǎo)體特性決定其制造過(guò)程必須有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，而雜質(zhì)各式各樣，如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能，塵埃粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等，所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)什么都必須嚴(yán)格控制。

　　潔凈室耗能為一般系統(tǒng)之5~10倍，在國(guó)內(nèi)自產(chǎn)能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴(yán)重的情況下，如何提升無(wú)塵室系統(tǒng)的節(jié)能技術(shù)，以提升生產(chǎn)力與競(jìng)爭(zhēng)力，是我們必須面對(duì)的課題。另外對(duì)潔凈廠房的潔凈度進(jìn)行定期的人工巡檢存在人力資源浪費(fèi)的缺點(diǎn)，為了克服人工檢測(cè)耗時(shí)費(fèi)力的缺點(diǎn)，我們可以采用一些企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)的CW-RPC系列多通道遠(yuǎn)程遙測(cè)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器及遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)對(duì)潔凈廠房進(jìn)行7*24實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)，能夠極大的提升我們的工作效率，節(jié)省人力成本。

　　半導(dǎo)體車(chē)間的基本要求

　　1、內(nèi)部要保持大于一大氣壓的環(huán)境，以確保粉塵只出不進(jìn)。所以需要大型鼓風(fēng)機(jī)，將經(jīng)濾網(wǎng)的空氣源源不絕地打入潔凈室中。

　　2、為保持溫度與濕度的恒定，大型空調(diào)設(shè)備須搭配于前述之鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)中。換言之，鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，冷氣空調(diào)也開(kāi)多久。

　　3、所有氣流方向均由上往下為主，盡量減少突兀之室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放調(diào)配，使粉塵在潔凈室內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。

　　4、所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

　　5、所有人事物進(jìn)出，都必須經(jīng)過(guò)空氣吹浴 (air shower) 的程序，將表面粉塵先行去除。

　　6、人體及衣物的毛屑是一項(xiàng)主要粉塵來(lái)源，為此務(wù)必嚴(yán)格要求進(jìn)出使用人員穿戴無(wú)塵衣，除了眼睛部位外，均需與外界隔絕接觸 (在次微米制程技術(shù)的工廠內(nèi)，工作人員幾乎穿戴得像航天員一樣。) 當(dāng)然，化妝是在禁絕之內(nèi)，鉛筆等也禁止使用。

　　7、除了空氣外，水的使用也只能限用去離子水 (DI water, de-ionized water)。一則防止水中粉粒污染晶圓，二則防止水中重金屬離子，如鉀、鈉離子污染金氧半 (MOS) 晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道 (carrier channel)，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水以電阻率 (resistively) 來(lái)定義好壞，一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;為此需動(dòng)用多重離子交換樹(shù)脂、RO逆滲透、與UV紫外線殺菌等重重關(guān)卡，才能放行使用。由于去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，其在半導(dǎo)體工業(yè)之使用量極為驚人!

　　8、潔凈室所有用得到的氣源，包括吹干晶圓及機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都得使用氮?dú)?(98%)，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮!